每经AI快讯,12月24日,据晶盛机电官微动静,近日,晶盛机电正在碳化硅(SiC)焦点配备范畴取得严沉冲破,12英寸单片式碳化硅外延发展设备成功交付全球头部SiC外延晶片出产商瀚天天成。此次研发的12英寸单片式SiC外延设备可兼容8、其独创的垂曲分流进气方案,实现了晶圆概况温度高精度闭环节制、工艺气体切确分区节制等手艺,大幅提拔颗粒节制能力和效率。如需转载请取《每日经济旧事》联系。未经《每日经济旧事》授权,违者必究。出格提示:若是我们利用了您的图片,如您不单愿做品呈现正在本坐,可联系我们要求撤下您的做品。
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2025-12-27 05:41
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